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油扩散泵系统获得极高真空时，气体质谱分析的实验系统如图16-19所示。液氮阱以上的部件由不锈钢制成，金丝密封。冷阱下法兰以下用丁腈橡胶密封。扩散泵泵体为碳钢，使用275硅油，机械泵使用泵油。四极质谱计为Balzers产QMG-101型。总压力由B-A规管读取。
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